Effetto del rivestimento PVD processo sullo spessore del rivestimento di fabbricazione

La cosa più importante nel processo di rivestimento PVD è il metodo di serraggio, che determinerà lo spessore e l'uniformità del rivestimento. E non c'è dubbio che lo spessore del rivestimento influisce sulla sua vita di servizio. Tuttavia, non è il più spesso il rivestimento, meglio sua aspettativa di vita. Sul pezzo stesso, applicazione diversa richiede uno spessore diverso. E diverso pezzo ha bisogno anche di diverso spessore. Così, il controllo dello spessore del rivestimento è importante.

Lo spessore del rivestimento è determinato principalmente dalla procedura di rivestimento. Alcune procedure hanno una certa gamma di spessore del rivestimento, e lo spessore del rivestimento varia sostanzialmente all'interno di questa gamma. Tuttavia, il metodo di serraggio del pezzo influisce anche notevolmente lo spessore del rivestimento. Sotto improprio di bloccaggio, lo spessore del rivestimento supererà l'intervallo impostato dal programma.

La dimensione di rotazione del pezzo colpisce lo spessore del rivestimento. I pezzi in lavorazione deve essere ruotato in aula mentre da rivestire. Ci sono tre modi di rotazione del pezzo in lavorazione: singolo-dimensione rotazione, rotazione bidimensionale e tridimensionale. Per la stessa procedura di rivestimento, le altre dimensioni di rotazione, il rivestimento più sottile. Lo spessore del rivestimento bidimensionale spin è circa 5 volte lo spessore del rivestimento tridimensionale spin, e lo spessore del rivestimento unidimensionale spin è circa 1,5 volte lo spessore del rivestimento bidimensionale rotazione. Supponendo che uno spessore di rivestimento di una rotazione tridimensionale è 2um, e quindi lo spessore del rivestimento di bidimensionale pezzo rotante è circa 3um, mentre lo spessore del rivestimento di spin rotante unidimensionale può raggiungere 4.5um o più.

Durante il serraggio del pezzo, la densità del pezzo colpisce anche lo spessore del rivestimento. Lo spessore del rivestimento del pezzo dove fissata intensivamente è piccolo e lo spessore del rivestimento del pezzo dove bloccato scarsamente è grande.

La figura sopra mostra la distribuzione dello spessore del rivestimento su un solo dente del piano cottura. La figura seguente mostra la distribuzione dello spessore del rivestimento in posizioni diverse di un trapano.

Così si può vedere che lo spessore delle diverse parti dello strumento è fortemente influenzato dal bloccaggio, quindi dobbiamo determinare il metodo di bloccaggio sulla base dell'esperienza.