Caratteristiche importanti dell'alimentazione polarizzata
Aug 13, 2024| Caratteristiche importanti dell'alimentazione bias
Numero di stacchi dell'arco al minuto (in numero di stacchi dell'arco al minuto) · · sensibilità per rilevare archi di grandi dimensioni (energia dell'arco rilevabile in mJ/kW) · Caratteristiche di carico del bias Bias Il carico di lavoro è plasma e quando viene utilizzata la polarizzazione CC , il plasma mostra resistenza; Quando viene utilizzata la polarizzazione pulsata, il plasma mostra resistenza + capacità, che può essere considerata come una serie di resistori e condensatori, e la natura della capacità è causata dalla guaina del plasma sulla superficie del substrato.
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