Principio e applicazione di Holl Ion Source
May 13, 2019| Principio e applicazione della fonte ionica
Principio di funzionamento della sorgente ionica
Tipo di sorgente di ioni
Secondo l'energia ionica si divide in:
Alta energia 200ev o superiore, come APS, RF, Kaufman ion Source;
Fonte di ioni Hall sotto bassa energia 200ev
Diviso per tipo:
Tipo Kaufman e tipo Hall
Come funzionano le sorgenti ioniche
In un ambiente denso, il gas che viene riempito nella camera a vuoto viene rimosso utilizzando gli elettroni emessi sotto l'interazione dei campi elettrici e magnetici e gli ioni vengono emessi sotto l'azione dei campi elettrici e magnetici.
Il principio di struttura della sorgente di ioni Hall
componenti:
Il catodo - emette elettroni
L'anodo - produce ioni
Percorso del gas: fornisce gas ionizzato
L'alimentatore
La struttura della sorgente di ioni Hall
La struttura della sorgente di ioni Kaufman
Energia ionica della sorgente ionica:
Sorgente ionica split kaufman: è la tensione tra l'anodo e la griglia
Sorgente di ioni Hall: 65-70% della tensione dell'anodo
IKS PVD, apparecchiature di rivestimento IET, contattare: iks.pvd@foxmail.com
