La causa dell'irregolarità del rivestimento Sputtered di Magnetron
Jun 07, 2018| 
Indipendentemente dal tipo di macchina per il controllo del vuoto, l'uniformità dei rivestimenti sarà influenzata da un determinato fattore.
Il funzionamento della macchina di rivestimento sotto vuoto sputtering di magnetron consiste nel far bombardare gli elettroni gli ioni di argon formati dal gas di argon e quindi bombardare il bersaglio mediante il campo magnetico ortogonale sotto lo stato di vuoto, e gli ioni target si depositano sulla superficie del pezzo in lavorazione per formare un rivestimento. Quindi possiamo considerare che lo stato del vuoto, il campo magnetico e l'argon sono tre aspetti legati all'uniformità dello spessore del film.
Lo stato del vuoto è controllato dal sistema di pompaggio dell'aria. Ogni porta di pompaggio deve essere azionata contemporaneamente con una resistenza costante in modo da garantire l'uniformità del pompaggio. Se il pompaggio non è uniforme, la pressione nella camera del vuoto non può essere uniforme, poiché la pressione ha una certa influenza sul movimento degli ioni. Inoltre, il tempo di pompaggio deve essere controllato. Troppo corto causerà un vuoto insufficiente, ma sarà uno spreco di risorse se è troppo lungo. Ma l'esistenza di vacuometri lo rende necessario.
Il campo magnetico funziona ortogonalmente, ma è impossibile rendere l'intensità del campo magnetico uniforme al 100%. In generale, dove il campo magnetico è forte, lo spessore del film sarà grande e viceversa, quindi lo spessore del film sarà incoerente.
L'uniformità della fornitura di gas argon influisce anche sull'uniformità dello strato del film. Il principio è simile al grado di vuoto. A causa dell'entrata del gas argon, la pressione nella camera del vuoto cambierà di conseguenza. L'uniformità dello spessore del film può essere controllata dalla pressione uniforme.
Anche se ci sono sempre diversi fattori che causano irregolarità del film, ma la velocità di passaggio del film è molto alta se il corretto funzionamento della macchina di rivestimento sottovuoto è fatto.