Carattere dell'Unità di vuoto ultra alto e classificazione
Oct 26, 2018| Le unità a vuoto ultra-alto che funzionano al di sopra di 10-5pa comprendono la pompa di diffusione, l'unità di ultra-alto vuoto a pompa molecolare e l'unità a vuoto ultra alto senza olio. L'unità ha le seguenti caratteristiche:
Il grado di vuoto massimo della pompa principale è superiore a 10-7 ~ 10-8pa.
(2) può resistere alla temperatura elevata di 200 ~ 450 ℃ cottura;
La pressione parziale del gas di ritorno della pompa principale è bassa.
Per la pompa principale con alta selettività, deve essere equipaggiata con una pompa ausiliaria sufficientemente grande.
(1) unità di pompa di diffusione ultra alto vuoto
Il vuoto finale delle unità di ultra alto vuoto con pompe di diffusione come le pompe principali è 10-7 ~ 10-8pa.
Al fine di ridurre l'influenza della diffusione inversa del gas dalla parte anteriore della pompa di diffusione e la diffusione inversa dell'olio della pompa meccanica sul grado di vuoto finale, una pompa di diffusione con una velocità di pompaggio inferiore può essere utilizzata nella parte anteriore del la pompa di diffusione per ridurre il rapporto di compressione e la diffusione inversa. Se all'entrata della pompa di diffusione viene aggiunta una trappola di sublimazione di titanio, la pressione parziale dell'azoto dalla pompa di diffusione può essere ulteriormente ridotta e si può ottenere un vuoto super alto di 10-11pa.
(2) unità di pompa molecolare ultra alto vuoto
Il vuoto massimo delle unità di ultra alto vuoto, che utilizzano principalmente pompe molecolari, è di 10-8pa, che è caratterizzato da avvio rapido e basso inquinamento da petrolio.
La velocità di pompaggio può essere aumentata aggiungendo una trappola fredda di azoto liquido nell'unità. L'uscita della pompa meccanica è dotata di una trappola fredda per evitare che il vapore di olio entri nel sistema.
(3) unità ultra alto vuoto oil-free
L'unità del vuoto che non usa l'olio per rendere il liquido funzionante e non sigilla con materiale organico è chiamata unità per vuoto super-alto senza olio. Le pompe principali comunemente utilizzate includono pompa criogenica, pompa al titanio, pompa ionica per sputtering, ecc. Rispetto all'unità di aspirazione dell'olio, presenta i seguenti vantaggi:
Il vuoto pulito e nessuna fonte di inquinamento possono essere ottenuti.
Quando viene avviata la pompa del vuoto oil-free, la pre-pompa può essere isolata.
Se la ventilazione si interrompe improvvisamente, il sistema non sarà inquinato;
Non ha olio, nessun rumore e nessuna vibrazione, il che migliora l'ambiente di lavoro.
Il grado di vuoto del terminale è alto, la velocità di pompaggio è alta e il tempo di pompaggio è breve.
